有一段时间没有更新晶圆制造用的耗材数据了。这两天翻阅了一下之前的发布历史,发现好久没有更新气体供应商的数据了。所以今天再发布一版,供大家参考半导体制造用的气体太多了,我数据库里收集到的种类就差不多约160种。这里我把他们分成了三个大类:
大宗气体(Bulk Gases)
指在半导体制造中消耗量极大、纯度要求相对特种气体较低(但仍需超高纯,通常≥99.999%,即 5N 级以上) 的气体,主要用于工艺环境保护、载气、反应氛围控制或辅助清洁等领域
特种气体(Specialty Gases)
指纯度极高(通常≥99.9999%,即 6N 级以上,部分达 9N 级)、成分单一或混合精准、针对特定工艺步骤发挥 “功能性作用” 的气体,是实现芯片 “图形定义”“掺杂调控”“性能优化” 的关键
前驱体(Precursors)
指在化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等薄膜制备工艺中,通过热分解、化学反应在晶圆表面生成目标薄膜的 “原料化合物”,通常为液态或固态(需加热汽化后进入反应腔),核心作用是 “精准提供薄膜所需的元素”(如金属、非金属)
按照这个分类,我整理了最新收集的72家供应商数据。欢迎大家参考和确认。如果发现问题,请私信交流
本文表格内容的详细数据的原始文档:《全球半导体特气前驱体供应商统计》,我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣,欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有详细介绍和加入方式
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