Post-Bond test of through-silicon vias with open defects

Carregant...
Miniatura

Fitxers

post bond.pdf (766.47 KB) (Accés restringit) Sol·licita una còpia a l'autor
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Cita com:

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Text en actes de congrés

Data publicació

Editor

Condicions d'accés

Accés restringit per política de l'editorial

Llicència

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

Through Silicon Vias (TSVs) are critical elements in three dimensional integrated circuits (3-D ICs) and are susceptible to undergo defects at different stages: during their own fabrication, the bonding stage or during their life time. Typical defects are microvoids, underfilling, misalignement, pinholes in the oxide or misalignments during bonding in such a way that resistive opens become a frequent failure mechanism affecting TSVs. Although there is considerable research effort dedicated to improve TSVs testing, no much attention has been paid to weak defects, especially to weak open defects (resistive opens) causing small delays. In this work, a testing strategy is proposed to detect small delay defects by means of a post-bond oscillation test. Variations in the Duty Cycle of transmitted signals after unbalanced logic gates are shown to detect weak open defects in TSVs. HSPICE simulations including process parameter variations show the effectiveness of the method in the detection of weak open defects above 1 kO.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

Rodriguez, R.; Arumi, D.; Figueras, J. Post-Bond test of through-silicon vias with open defects. A: IEEE European Test Symposium. "PROCEEDINGS 19TH IEEE EUROPEAN TEST SYMPOSIUM". Paderborn: 2014, p. 1-6.

Ajut

Forma part

Dipòsit legal

ISBN

978-1-4799-3414-0

ISSN

Altres identificadors

Referències