激光芯片与硅CMOS混合键合(Hybrid Bonding)使用BCB作为介质。BCB(苯并环丁烯,Benzocyclobutene)是一种高性能芳香族热固性聚合物介电材料,广泛用于Cu/BCB混合键合中作为图形化介电层,实现金属(Cu)互连与机械支撑的双重功能。
在混合键合中的作用:与Cu互连层协同实现
“金属-介质”混合键合
- ——Cu提供电连接,BCB提供机械对准与绝缘隔离,无需焊料,支持亚微米级对准精度。
BCB技术长期被欧美日企业垄断,主要集中在电子材料与光电子领域。
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(陶氏化学):原Dow Corning,拥有核心品牌 Cyclotene®。占据全球约 50-60% 市场份额,产品线最全(从光刻级到粘结级),是微流控、MEMS、3D封装的首选。
JSR Corporation:日本巨头,主要提供 光敏BCB(如ArF/KrF适用),在半导体光刻与光波导领域强势,与东京电子、信越化学深度绑定。
HD Microsystems:美国(现属Heraeus),专注于半导体级BCB,在先进封装(TSV、晶圆级键合)领域技术领先,提供高纯度、低应力方案。
其他:Shin-Etsu(信越)、Kaneka(钟化)等日本企业侧重光电子集成与光纤耦合应用。
国内布局处于从“树脂合成”向“配方量产”突破的阶段,集中在半导体封装与柔性电子领域。
瑞华泰:国内PI龙头,近年切入BCB领域,已具备部分树脂合成与涂覆能力,主要对标Dow,在低温键合材料上加速验证。
飞凯材料:在电子化学品领域有布局,提供部分BCB前驱体或改性方案,主要服务于封装测试环节。
其他科研转化:中科院各研究所(如苏州纳米所、上海微系统所)及高校(如东南大学)有配方研究,但量产级高纯度BCB尚少。
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