low-Kとは 意味・読み方・使い方

ULTRAVIOLET CURING METHOD FOR LOW k DIELECTRIC FILM例文帳に追加

低ｋ誘電体膜用の紫外線硬化法 - 特許庁

METHOD FOR FORMING DIELECTRIC FILM OF LOW-k VALUE例文帳に追加

低いｋ値の誘電体膜の形成方法 - 特許庁

To suppress the occurrence of low-k void in a low dielectric constant insulating film when using the low dielectric constant insulating film as an interlayer insulating film.例文帳に追加

層間絶縁膜として、低誘電率絶縁膜を用いる場合に、低誘電率絶縁膜に、Low-kボイドが発生するのを抑える。 - 特許庁

THROUGH-SILICON VIA WITH LOW-K DIELECTRIC LINER例文帳に追加

低ｋ誘電体ライナーを有するシリコン貫通ビア - 特許庁

To provide slurry capable of achieving the modular removal of a barrier for an ultra low-k insulating material without increasing the removal speed of copper and further of removing a barrier while controlling the erosion of the low-k insulating material.例文帳に追加

銅の除去速度を上げることなく超low-k絶縁材に対するバリヤのモジュラー除去を達成することができ、さらには、low-k絶縁材エロージョンを制御しながらバリヤを除去することができるスラリーを提供する。 - 特許庁

INTEGRATED LOW-K DIELECTRIC AND ETCHING STOP LAYER例文帳に追加

集積した低Ｋ誘電体層とエッチング停止層 - 特許庁

A Low-k film is deteriorated by O radicals producing in a chamber 102 and the dielectric constant (k value) of the Low-k film increases as a result.例文帳に追加

チャンバ１０２内に発生するＯラジカルは，Ｌｏｗ−ｋ膜を変質させ，Ｌｏｗ−ｋ膜の誘電率（ｋ値）を上昇させてしまう。 - 特許庁

To improve the reliability of porous Low-k film.例文帳に追加

ポーラスＬｏｗ−ｋ膜の信頼性を向上させる。 - 特許庁